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当罗斯蒙特玻璃熔炉温度监控在航空航天半导体

发布时间:2021-09-11 15:40:24 阅读: 来源:实木床厂家

罗斯蒙特玻璃熔炉温度监控在航空航天、半导体和光学工业领域应用

项目背景

于纽约坎顿的康宁公司半导体材料制造厂专门生产高科技玻璃产品,用于航空航天、半导体和光学工业领域。两年前,康宁公司选择艾默生过程管理,使用配备基金会(FOUNDATION )现场总线技术的里面添加上该实验的1些相干信息PlantWeb 产品重新装备其过程系统。

坎顿工厂生产3种产品:高纯石英玻璃(HPFS)、超低膨胀(ULE)玻璃和氟化晶体。高纯石英玻璃是世界上最纯的玻璃形式,用于制造航天飞机和空间站上的玻璃窗。而超低膨胀玻璃则具有十亿分率的热膨胀系数,用于大型望远镜的反射镜上,包括在哈勃太空望远镜上使用。氟化晶体通过真空室中的生长晶体制造获得。该产品专为半导体工业未来新一代光学机械而开发。

项目背景:

康宁更新了12台气相淀积熔炉,用于生产高质量的玻璃产品。为了提高产品质量和产量,降低总体运行成本,要对这些过程系统重新装备。康宁选择提供基金会(FOUNDATION)现场总线支持的工厂管控(PlantWeb)产品,并选择费希尔-罗斯蒙特系统DeltaV控制系统共同实现这些项目目标。康宁预测这一架构将为他们在标定成本方面节约3/4人年(每年约$35,000),其中%源于温度控制。迄今为止,康宁已为该项目购买了下列产品:86台848T型八位输入温度变送器,15台3244MVF型温度变送器,70台3051型压力变送器,39台费希尔DVC控制阀,38台微动型CMF10/25流量计和1套DeltaV控制系统。

温度控制应用:

每台气相淀积玻璃熔炉的温度控制应用包括16个监控点、8个非临界控制点和1个临界控制点。4台熔炉位于约200英尺头尾相连的区域中,每台温度传感器测量离DeltaV I/O柜的平均距离为150英尺。康宁选择的罗斯蒙特848T型八位输入温度变送器保证了热电偶测量通讯,用于监控熔炉不同位置空气、油和水的温度。每台848T温度变送器使用八位模拟输入(Al)功能块,通过现场总线段进行测量通讯。

3244MVF型温度变送器用于控制原料的临界入口温度。由于该测量的临界特性,康宁使用了32444MVF热备历经15年份(Hot Backup )、变送器-传感器匹配和传感器漂移报警多项功能,以此提高精确度和过程产量。尤其是传感器漂移报警功能,它可以在临界温度控制点要求重新标定时发出信息。每台3244MVF温度变送器使用2个Al、1个PID和1个输入选择器(ISEL)功能块,并拥有BackupLink Active Scheduler功能。

848T的价值:

为了进行温度监控,康宁将848T温度变送器与将热电偶直接连接到DeltaV热电偶I/O卡的情况进行了比较。康宁为该项目选择使用848T,因为它是更具成本效益的解决方案。他们可以将现有传感器接线连接到84下面济南试金跟大家提供1个大概的周期:8T上,大大简化了接线、安装成本显著降低。康宁估计848T方案将为他们重新装备12台气相淀积熔炉节省$10,000。

另外通过将848T应用到氟化晶体过程中也节省了其他方面的开支,因为在这一过程控制中,高度集中了昂贵的C型热电偶丝。848T满足多种传感器输入类型,适用范围广,每台变送器可以接收8个传感器信号,使用该解决方案成本节约显著。

康宁坎顿工厂工程和信息技术控制主管Steve Edwards曾经说过:“848T为我们温度监控应用提供了一个非常洁净的解决方案。848T组态方便,更换热电偶型号时轻而易举,自从启动以来,一切都运转得非常好。迄今为止,848T解决方案已为我们带来了非常精确的结果。”Steve在气相淀积熔炉上使用848T获得了越来越多的经验,并试图将其运用到工厂新的过程控制中去。

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